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    2. 晶圓無損傳輸方案(薄片/翹曲片/Taiko片)
      晶圓無損傳輸方案(薄片/翹曲片/Taiko片)

      功率器件工藝技術的高度迭代發展,帶來了更多形態的晶圓圓片類型,包括Taiko片,厚度低至50um的超薄片,以及由于減薄帶來的各類晶圓翹曲片等,對探針平臺的機械手搬運傳輸運送系統提出了巨大的技術挑戰。在全新一代的探針臺設計中,自主創新引入多種模塊化的搬運傳輸技術平臺模塊,可以靈活多樣的快速滿足客戶工藝的更高要求,保障良率和系統可靠性。

      其他解決方案
      以客戶為中心,解決不同場景測試需求,實現更加豐富的效果
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