高低溫探針臺、高低溫半自動探針臺、高低溫全自動探針臺

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高低溫定制系列

高低溫定制系列

高低溫全自動探針臺

全新一代高精度定位平臺（定位精度±2微米）
可滿足64site測試，大大提升產能效益
高精密光學模組，結合最新圖像軟件算法，實現探針自動精確定位，安全可靠全自動測試
通過獨特的機械手吸附技術，解決Taiko\超薄\翹曲等晶圓片無損自動上下料傳輸；
CHUCK模塊化設計，選配、更換更加便捷
搭載大尺寸的磨針臺，適應不同的磨針方式
搭載高低溫測試系統，溫度范圍：-55℃～+200℃

應用領域

適用于8英寸、12英寸的集成電路、功率器件類晶圓的高低溫測試

主要功能

晶圓厚度自動檢測功能

自動晶圓對準功能

自動對針功能

針痕檢測功能

自動清針功能

MAP圖實時顯示、存儲產品

CHUCK自動清理功能

晶圓ID自動讀取

自動打點

測試應用

高低溫測試

高壓測試

大電流測試

壞點重測

WAT測試

射頻測試

特殊應用

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無Notch預對準

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8英寸全自動探針臺

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