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AS-20
AS-20
全自動晶圓光學鏡檢機
支持Wafer或Frame自動上料方式,兼容4~8英寸
高分辨率的光學系統,良好的成像效果
多道光組合檢測,不同缺陷自定義打光方式
用戶自定義缺陷類型及創建元件庫,缺陷項分類標記,靈活編排檢測算法
結合AI算法檢測模型,應對復雜缺陷場景
具備自動擴膜及切割道檢測功能
搜尋及排列功能,適應擴膜產生的不規則變形
分布式計算系統+高速數據傳輸系統,為檢測提供超高算力
自動生成缺陷分布MAP圖,可與探針臺的MAPPING數據自動合檔
SPC功能,基于數據庫查詢的圖表統計和結果追溯等
應用領域
常見的分立器件類晶圓的表面缺陷檢測
主要功能
自動上傳存儲數據庫
自動切換光學倍率
自動條碼調用檢測程序
自動對焦調光
自動讀取晶圓ID
全自動多料盒上下片
自動晶圓掃描對準
針痕檢測功能
多工位自動打點
MAP圖實時顯示
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