曝光機

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GK-150

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全自動曝光機

全自動設計，滿足一次可放置4個輸入料盒和4個輸出料盒
雙工位設計，滿足曝光和對準上片同時進行
工作臺配備自適應調平功能
能夠精準控制掩膜板與芯片的貼合壓力
自動快捷地完成芯片的粗對準：芯片擺正、定位芯片圓心、定位芯片切邊
自動對準定位晶圓片
多模板匹配，解決同種產品但色差較大的問題
曝光前檢測對準精度，確?？煽啃?br /> 配備一個異常片臨時存放料盒，保證設備運行連貫性

機型說明

矽電全新推出的全自動曝光機，可按照二極管芯片廠家工藝設計需求進行定制，滿足4寸、5寸晶圓在同一機臺上進行一、二、三次光刻的工藝處理需求。批量自動化設計，配備輸入、輸出料盒各四個；雙工位并行滿足曝光和對準上片同步進行。

應用領域

晶圓片接觸式曝光

產品特點

全自動芯片曝光

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