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    2. GK-150
      GK-150
      全自動曝光機
      全自動設計,滿足一次可放置4個輸入料盒和4個輸出料盒
      雙工位設計,滿足曝光和對準上片同時進行
      工作臺配備自適應調平功能
      能夠精準控制掩膜板與芯片的貼合壓力
      自動快捷地完成芯片的粗對準:芯片擺正、定位芯片圓心、定位芯片切邊
      自動對準定位晶圓片
      多模板匹配,解決同種產品但色差較大的問題
      曝光前檢測對準精度,確??煽啃?br /> 配備一個異常片臨時存放料盒,保證設備運行連貫性
      機型說明

      矽電全新推出全自動曝光機,可按照二極管芯片廠家工藝設計需求進行定制,滿足4、5、6英寸晶圓在同一機臺上進行一、二、三次光刻的工藝處理需求。批量自動化設計,配備輸入、輸出料盒各四個;雙工位并行滿足曝光和對準上片同步進行。

      應用領域
      晶圓片接觸式曝光
      產品特點
      全自動芯片曝光
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