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PT-9200

PT-9200

8英寸全自動探針臺

高精度定位平臺(定位精度±2微米）
可滿足2000根探針測試，用于多芯同時探測,提升產能效益
高精密光學模組，結合最新圖像軟件算法，實現探針自動精確定位，安全可靠全自動測試
獨特機械手吸附技術，解決Taiko/超薄/翹曲等晶圓片無損自動上下料傳輸
CHUCK模塊化設計，選配、更換更加便捷
搭載大尺寸的磨針臺，適應不同的磨針方式

應用領域

適用于8英寸及以下的集成電路、功率器件類晶圓測試

主要功能

CHUCK自動清理功能

晶圓ID自動讀取

自動打點

晶圓厚度自動檢測功能

自動晶圓對準功能

自動對針功能

針痕檢測功能

自動清針功能

MAP圖實時顯示、存儲產品

測試應用

WAT測試

射頻測試

高低溫測試

大電流測試

壞點重測

WAT測試

高壓測試

高溫測試

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